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紅外氣體傳感器 半導(dǎo)體行業(yè)薄膜沉積工藝是由四方儀器自主研發(fā)的高性能氣體傳感器，產(chǎn)品基于非分光紅外技術(shù)(NDIR),能夠精確測(cè)量半導(dǎo)體等應(yīng)用中產(chǎn)生的WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機(jī)臺(tái)內(nèi)常見預(yù)留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議，可用于半導(dǎo)體沉積和清洗工藝的端點(diǎn)檢測(cè)、腔室清理終端檢測(cè),能夠減少清潔時(shí)間,節(jié)約成本,提高產(chǎn)量。
紅外氣體傳感器 半導(dǎo)體行業(yè)薄膜沉積工藝是由四方儀器自主研發(fā)的高性能氣體傳感器，產(chǎn)品基于非分光紅外技術(shù)(NDIR),能夠精確測(cè)量半導(dǎo)體等應(yīng)用中產(chǎn)生的SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機(jī)臺(tái)內(nèi)常見預(yù)留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議，可用于半導(dǎo)體沉積和清洗工藝的端點(diǎn)檢測(cè)、腔室清理終端檢測(cè),能夠減少清潔時(shí)間,節(jié)約成本,提高產(chǎn)量。
激光氨氣檢測(cè)儀AM5302-EK由四方光電自主研發(fā)，是基于可調(diào)諧半導(dǎo)體激光吸收光譜技術(shù)（TDLAS)的高性能光學(xué)氣體分析儀。窄帶激光光譜吸收技術(shù)對(duì)氨氣具有選擇性，不受其它氣體、水汽、粉塵等干擾，可在惡劣工況及復(fù)雜氣體環(huán)境下穩(wěn)定工作。系統(tǒng)配備高性能探頭與特殊工藝處理氣室，在提高檢測(cè)精度與靈敏度的同時(shí)，也保證了性能的穩(wěn)定性與更長(zhǎng)的使用壽命。
低濃度粉塵儀OPC-6510A采用光學(xué)散射原理，可精確檢測(cè)并計(jì)算單位體積內(nèi)空氣中不同粒徑的懸浮顆粒物的個(gè)數(shù)，內(nèi)置四方光電塵源智能識(shí)別模塊，具有6L/min大流量的氣體采樣速率，可同時(shí)輸出0.3μm、0.4μm、0.5μm、0.6μm、0.8μm、1.0μm、1.5μm、2.0μm、2.5μm、5.0μm、8.0μm、10μm十二個(gè)通道的顆粒數(shù)，PM2.5、PM10質(zhì)量濃度。
制氧機(jī)鼓風(fēng)機(jī)是由四方光電自主研發(fā)的一款直流無刷鼓風(fēng)機(jī)，無需外部管道即可改變空氣方向，是定點(diǎn)冷卻高密度設(shè)備的理想選擇。DC9733鼓風(fēng)機(jī)采用BLDC電機(jī)，選用進(jìn)口軸承和PBT塑料外殼，具有重量輕、散熱快、噪音低和壽命長(zhǎng)的優(yōu)勢(shì)。
紅外粉塵傳感器采用光學(xué)散射原理，可檢測(cè)室內(nèi)空氣中粒徑在1μm以上顆粒物濃度數(shù)值的變化趨勢(shì)，內(nèi)置溫度補(bǔ)償功能，確保在不同環(huán)境條件下都能保持穩(wěn)定的測(cè)量性能。
可燃?xì)怏w探測(cè)器JT-AM5301-JG是一款安裝在廚房等可能發(fā)生燃?xì)?CH4)泄漏場(chǎng)所的氣體報(bào)警器，當(dāng)空氣中的燃?xì)鉂舛瘸^設(shè)定值時(shí)探測(cè)器會(huì)觸發(fā)報(bào)警功能，并對(duì)外發(fā)出聲光報(bào)警信號(hào)。若設(shè)備連接報(bào)警主機(jī)和接警中心則可聯(lián)網(wǎng)報(bào)警,同時(shí)關(guān)閉燃?xì)夤艿篱y門；還可通過手機(jī)APP實(shí)時(shí)監(jiān)控，在超過報(bào)警濃度后APP會(huì)及時(shí)彈窗報(bào)警信息，保障生命和財(cái)產(chǎn)安全。
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